REM & EDX

Wie die Methode funktioniert

Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird die Probe mit einem sehr fein gebündelten Elektronenstrahl abgerastert. Wird die Probenoberfl?che mit dem Elektronenstrahl abgetastet, kommt es zu einer Wechselwirkung mit der Probe und es werden unterschiedlich energiereiche Elektronen freigesetzt. Diese werden mit den verschiedenen Detektoren (SE2 / Inlens / BSD / EDX) aufgenommen und geben so Rückschlüsse über die Topographie, bzw. Materialzusammensetzung der Probe.

Die wichtigsten Vorteile gegenüber der Lichtmikroskopie sind sicherlich:

• das erh?hte Aufl?sungsverm?gen
• die hohe Sch?rfentiefe?
• der relativ geringe pr?parative Aufwand
• die leichte Interpretation der erzeugten Bilder infolge des dreidimensionalen Eindrucks
• die Nutzung verschiedener Kontrastmechanismen für die Bilderzeugung
• die relativ einfache Adaption und Ansteuerung von zus?tzlichen Messger?ten für die Mikrobereichsanalyse

Das Ger?t

Unser Labor am Fachbereich Geowissenschaften der Universit?t Bremen ist mit dem Feldemissionselektronenmikroskop SUPRA 40 von der Firma Zeiss und dem EDX-Detektor XFlash 6|30 von der Firma Bruker ausgestattet.

Das SUPRA 40 ist mit einer neuartigen Elektronenoptik ausgerüstet, die so konfiguriert wurde, dass sie speziell für Niederspannungsanwendungen sehr gute Ergebnisse erzielt. Weiterhin besteht durch den ebenfalls verbauten Inlens-Detektor mit seiner hohen Detektionseffizienz die M?glichkeit, Nanopartikel bis zu einer Gr??e von 15 nm gut darzustellen.

Bei dem EDX-Detektor XFlash 6|30 handelt es sich um einen Siliziumdriftdetektor (SDD) mit einer aktiven Detektorfl?che von 30 mm² und einer Energieaufl?sung <129 eV bei Mn-Kα. Neben Punkt- und Fl?chenanalysen sind sowohl Linienanalysen (Linescan), als auch Elementverteilungskarten (Mapping) durch die hohen Impulsraten innerhalb kurzer Messzeit m?glich.

Probentypen

• max. Probendicke: 30 mm
• max. Probendurchmesser: 50 mm
• generell ist es besser, die Proben m?glichst klein und flach zu pr?parieren
• ebenso sind auch Streupr?parate m?glich
• nichtleitende Proben werden entweder in dem Cressington Sputter Coater, oder Carbon Coater leitf?hig bedampft

Weiterhin müssen die Proben folgende Eigenschaften aufweisen:

• hochvakuumfest
• trocken
• keine Ausgasungen